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一种光栅波前倾斜色散补偿装置，该装置包括第一闪耀光栅、Offner光学系统和第二闪耀光栅或直角反射镜。本发明补偿了光栅角度色散效应引起的时间展宽和空间展宽，确保光束到达工作面上光束的时空色散为零。与传统的基于光栅波前倾斜获得技术相比，从根本...
该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。

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