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本实用新型属于纳米材料制备领域，涉及一种真空下用于纳米颗粒制备的冷却装置，设置于溅射靶(11)的溅射区域外部；该冷却装置为中空圆柱体，包括冷却室外壁(3)和冷却室内壁(4)；在冷却室外壁(3)和冷却室内壁(4)构成的冷却室前端，对称设置有进...
该专利属于钢铁研究总院所有，仅供学习研究参考，未经过钢铁研究总院授权不得商用。

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