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本实用新型实施例公开了一种真空镀膜设备。所述真空镀膜设备包括真空镀膜装置和真空预处理装置。真空预处理装置包括真空泵、真空舱室、设置于真空舱室内的载台、加热系统和真空测量系统。被镀件设置于载台上；真空泵与真空舱室联通，并对真空舱室进行抽真空；...
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