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本发明涉及一种超声波辅助研磨抛光的方法，属于材料加工技术领域。所述的超声波辅助研磨抛光的方法是由超声波辅助研磨抛光、抛光机研抛步骤组成的。采用超声波对碳化硅晶片材料的预处理，可以先取出一部分材料表面的变质层，脱除材料表面的一部分杂质，对材料...
该专利属于云南民族大学所有，仅供学习研究参考，未经过云南民族大学授权不得商用。

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