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本实用新型提供的可控上盘结构及抛光装置，涉及高精度抛光技术领域，该可控上盘结构包括：上盘调节件、安装盘和驱动装置；上盘通过所述上盘调节件设置于所述安装盘的底部，所述驱动装置带动所述安装盘上下移动；所述上盘通过所述上盘调节件能够上下移动地设置...
该专利属于希尔维斯特·本杰明所有，仅供学习研究参考，未经过希尔维斯特·本杰明授权不得商用。

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