温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及微波等离子体领域，提供一种微波等离子体的温度控制方法及设备。其中微波等离子体的温度控制方法包括如下步骤：调节微波功率，在微波激发区产生微波等离子体；在微波激发区吹入工作气体，微波等离子体羽流伸出激发区；调整工作气体的组分配比，选择...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。