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本发明涉及半导体制造辅助设备技术领域,尤其是涉及一种胶丝检测装置。胶丝检测装置,包括超声波清洗机和紫外线照射装置;超声波清洗机的清洗槽内设置有第一支架和第二支架,第一支架位于第二支架的上方,第一支架上用于放置封装有UV膜的待检测物,UV膜的...该专利属于威士达半导体科技(张家港)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过威士达半导体科技(张家港)有限公司授权不得商用。
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