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本发明公开了一种二自由度尺蠖式微纳定位平台，包括X向尺蠖驱动器，Y向尺蠖驱动器和位移检测装置，其中尺每个蠖驱动器由基座，2个柔性箝位单元，1个柔性驱动单元，3个压电叠堆陶瓷组成，基座可对箝位机构之间的微隙进行微调；位移检测装置由2个移动镜面...
该专利属于山东大学所有，仅供学习研究参考，未经过山东大学授权不得商用。

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