下载一种显示器的基板的制造方法及光罩的技术资料

文档序号:17303703

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本发明公开了一种显示器的基板的制造方法,所述方法包括:提供一基板本体;在所述基板本体上涂覆光阻层;利用曝光机多个镜头透过光罩对所述光阻层进行曝光,其中,所述光罩包括光线直射区以及光线重叠区,在所述光线重叠区中包括透光区以及非透光区,在所述光...
该专利属于武汉华星光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉华星光电技术有限公司授权不得商用。

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