下载表面态陷阱对器件输出特性影响的测量方法的技术资料

文档序号:17303419

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本发明公开了一种表面态陷阱对器件输出特性影响的测量方法,主要解决目前无法单独测量表面态陷阱对器件输出特性影响的问题;其实现方案是:首先在被测器件的源极和漏极之间再新制作一个栅极,形成双栅结构;再测量器件的输出电流;接着对被测器件施加脉冲电压...
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