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本实用新型公开了一种拼接式的干法刻蚀设备，包括有设置于反应腔内的多个托盘单元、以及至少一个用于放置被刻蚀件的安装座，多个所述托盘单元组合拼接成固定托盘，其中，多个所述托盘单元组合成型有至少一个供安装座相配合安装的安装槽；所述多个托盘单元组合...
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