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本实用新型公开了一种扫描粒子束显微镜系统，包括：扫描粒子束显微镜及聚焦控制系统；所述聚焦控制系统包括：两个照明成像装置，用于产生照明光束、以及传输从样品表面反射的携带聚焦图像的光束；两个反射装置，用于将对应的照明成像装置产生的照明光束反射到...
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