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本技术公开了一种柔性磁控溅射镀膜横向均匀性控制装置，喷嘴排上设有气体喷嘴，磁控溅射程度监测探头有多个，用于检测气体喷嘴的溅射程度，磁控溅射程度监测探头通过屏蔽电信号输出线与磁控溅射程度分析比较装置输入端相连接，磁控溅射程度分析比较装置的输出...
该专利属于南京沪友冶金机械制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南京沪友冶金机械制造有限公司授权不得商用。

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