下载双层异质结构模具的技术资料

文档序号:17271148

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双层异质结构模具,包括硅衬板,所述的硅衬板的上表层沿硅衬板轴向分布多列微米级凹槽组,并且每列所述的凹槽组包括若干等距排列的微米凹槽,相邻两列凹槽组轴向间距梯度渐增;整个所述的硅衬板上表面均匀分布纳米级孔,所述的微米凹槽以及分布在微米凹槽表面...
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