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提供将铜和钼的多层膜蚀刻、可以降低用量的蚀刻液。使用过氧化氢的蚀刻液中，由于过氧化氢被铜离子分解，因此补充大量的蚀刻液。一种多层膜用蚀刻液，其特征在于，其包含过氧化氢、酸性有机酸、胺化合物、过氧化氢分解抑制剂、唑类、和含有铝盐的析出防止剂，...
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