下载具有漂移区和背面发射极的半导体装置及制造方法的技术资料

文档序号:17266872

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本发明涉及具有漂移区和背面发射极的半导体装置及制造方法。通过外延而在前侧在底部衬底(105)上形成外延层(106)。从前侧的相反侧,底部衬底(105)的至少一部分被去除,其中底部衬底(105)被完全去除或者剩余底部部分(105a)具有至多2...
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