温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明涉及一种半导体器件及制备方法、电子装置。所述方法包括:提供半导体衬底,在所述半导体衬底上形成有条状鳍片;图案化所述条状鳍片,以在所述条状鳍片中形成凹槽,所述凹槽将所述条状鳍片分割为相互间隔的鳍片结构;沉积隔离材料层,以填充所述凹槽并覆...该专利属于中芯国际集成电路制造(北京)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(北京)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司授权不得商用。