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本申请揭示了一种光波导器件及其制作方法，方法包括：提供基板；于基板上形成波导层；于波导层上设置第一掩膜板，第一掩膜板包括第一掩膜口；以第一入射角度通过第一掩膜口照射波导层；利用第二掩膜板替代第一掩膜板，第二掩膜板包括第二掩膜口；以第二入射角...
该专利属于苏州旭创科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州旭创科技有限公司授权不得商用。

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