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用于光学处理系统的底盘及光学处理系统技术方案
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下载用于光学处理系统的底盘及光学处理系统的技术资料
文档序号:17264117
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本申请案针对于用于光学处理系统的底盘及光学处理系统。所述底盘包括:工作台,其经调适以用于在其上放置需要沉积的目标;及以下各项中的至少一者:装载站,其位于所述工作台的前部上以用于在其处装载供体元件,所述供体元件提供用于所述沉积的材料;多个可调...
该专利属于奥宝科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过奥宝科技有限公司授权不得商用。
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