下载用于光学处理系统的底盘及光学处理系统的技术资料

文档序号:17264117

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本申请案针对于用于光学处理系统的底盘及光学处理系统。所述底盘包括:工作台,其经调适以用于在其上放置需要沉积的目标;及以下各项中的至少一者:装载站,其位于所述工作台的前部上以用于在其处装载供体元件,所述供体元件提供用于所述沉积的材料;多个可调...
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