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本发明提出一种变形镜系统高精度刚体位移检测方法及装置，装置包括球面干涉仪标准具、位置传感器、变形镜系统以及球面干涉仪调整台，球面干涉仪标准具与球面干涉仪调整台平行相对设置，变形镜系统位于球面干涉标准具及球面干涉仪调整台之间，在变形镜系统所在...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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