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本发明提供的白光干涉仪待测量工件自动定位方法及装置，针对白光干涉仪的测量工件的过程中工件的定位问题，通过将干涉物镜或载物台的二维倾角转换为线性轴的移动量，得到了工件中心顶点的位置，并进一步地通过计算干涉物镜或载物台的转动一定角度时线性轴的偏...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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