温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种多频率的压电超声发生器，是一种体积小、重量轻、操作简单、频率可调，且便于与其它器件集成的新型超声发生器。该多频率的压电超声发生器以高阻硅为衬底，在衬底上设有MEMS悬臂梁下拉电极，在MEMS悬臂梁下拉电极上设有MEMS悬...
该专利属于南京邮电大学所有，仅供学习研究参考，未经过南京邮电大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。