多频率的压电超声发生器制造技术
Multi frequency piezoelectric ultrasonic generator
The utility model discloses a multi frequency piezoelectric ultrasonic generator, which is a new ultrasonic generator with small volume, light weight, simple operation, adjustable frequency and convenient integration with other devices. Piezoelectric ultrasonic generator of the multiple frequency with high resistivity silicon substrate, MEMS cantilever beam with pull-down electrodes on the substrate, the MEMS cantilever drop electrode is provided with an MEMS cantilever pier with MEMS cantilever beam in the MEMS cantilever bridge pier, the MEMS cantilever beam and cantilever beam MEMS electrode is arranged between the pressure drop electric materials ZnO. Because the MEMS cantilever beam array has different length and different characteristic frequency, the utility model can achieve multi frequency ultrasonic.
【技术实现步骤摘要】
多频率的压电超声发生器
本技术涉及一种多频率的压电超声发生器及其制备方法，属于超声、微电子机械系统
技术介绍
超声波是一种频率高于20000赫兹的声波，超声波因其频率下限大约等于人的听觉上限而得名。超声波具有聚束、定向及反射、透射等特性，因而通过超声波产生、传播及接收的过程从而完成一种超声技术。近20多年来，随着MEMS技术的飞速发展，对MEMS悬臂梁结构进行深入的研究，使得MEMS技术应用于超声发生器成为可能。超声技术在生物医学、能量收集等领域中有着广泛的应用。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种多频率的压电超声发生器，通过采用MEMS悬臂梁技术设计了不同长度的MEMS悬臂梁，从而实现超声发生器的频率性选择。该超声发生器具有结构小型化，操作简单，易集成等特点。本技术为解决上述技术问题采用以下技术方案：本技术提供一种多频率的压电超声发生器，该压电超声发生器以硅为衬底，在硅衬底上设有MEMS悬臂梁下拉电极和MEMS悬臂梁桥墩；所述MEMS悬臂梁桥墩上设有MEMS悬臂梁阵列，所述MEMS悬臂梁阵列中的每个MEMS悬臂梁的一端固定在MEMS悬臂梁桥墩上，...
【技术保护点】
多频率的压电超声发生器，其特征在于，该压电超声发生器以硅为衬底，在硅衬底上设有MEMS悬臂梁下拉电极和MEMS悬臂梁桥墩；所述MEMS悬臂梁桥墩上设有MEMS悬臂梁阵列，所述MEMS悬臂梁阵列中的每个MEMS悬臂梁的一端固定在MEMS悬臂梁桥墩上，另一端为自由端；每个MEMS悬臂梁下方分别设置一个MEMS悬臂梁下拉电极，每个MEMS悬臂梁下拉电极上设置有压电材料层。
【技术特征摘要】
1.多频率的压电超声发生器，其特征在于，该压电超声发生器以硅为衬底，在硅衬底上设有MEMS悬臂梁下拉电极和MEMS悬臂梁桥墩；所述MEMS悬臂梁桥墩上设有MEMS悬臂梁阵列，所述MEMS悬臂梁阵列中的每个MEMS悬臂梁的一端固定在MEMS悬臂梁桥墩上，另一端为自由端；每个MEMS悬臂梁下方分别设置一个MEMS悬臂梁下拉电极，每个MEMS悬臂梁下拉电极上设置有压电材料层。2.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员：王德波，李江南，张焕卿，
申请(专利权)人：南京邮电大学，
类型：新型
国别省市：江苏,32
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