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本发明提供了一种超疏水类金刚石薄膜的制备方法。该方法首先制备双元金属共掺杂的类金刚石薄膜,然后在惰性气体保护气氛中对该双元金属共掺杂的类金刚石薄膜进行热处理。一方面双元金属掺杂和热处理能够提高薄膜的石墨化程度,降低薄膜表面能,另一方面,其中...该专利属于中国科学院宁波材料技术与工程研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院宁波材料技术与工程研究所授权不得商用。
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本发明提供了一种超疏水类金刚石薄膜的制备方法。该方法首先制备双元金属共掺杂的类金刚石薄膜,然后在惰性气体保护气氛中对该双元金属共掺杂的类金刚石薄膜进行热处理。一方面双元金属掺杂和热处理能够提高薄膜的石墨化程度,降低薄膜表面能,另一方面,其中...