温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供一种蒸发源装置,该蒸发源装置包括:蒸发源,设置在所述基板的下方;蒸发源遮挡板,设置在所述蒸发源和所述基板之间;驱动部件,与所述蒸发源遮挡板电性连接;所述驱动部件用于驱动所述蒸发源遮挡板相对于所述蒸发源旋转,并控制所述蒸发源遮挡板在...该专利属于武汉华星光电半导体显示技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉华星光电半导体显示技术有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供一种蒸发源装置,该蒸发源装置包括:蒸发源,设置在所述基板的下方;蒸发源遮挡板,设置在所述蒸发源和所述基板之间;驱动部件,与所述蒸发源遮挡板电性连接;所述驱动部件用于驱动所述蒸发源遮挡板相对于所述蒸发源旋转,并控制所述蒸发源遮挡板在...