下载蒸镀坩埚及蒸镀系统的技术资料

文档序号:17262022

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本发明提供一种蒸镀坩埚以及一种包括所述蒸镀坩埚的蒸镀系统,所述蒸镀坩埚包括:坩埚本体和缠绕在所述坩埚本体四周的至少两个加热装置;所述坩埚本体包括至少两个筒状结构,每个所述筒状结构具有不同的直径,所述坩埚本体用于盛放蒸镀材料;每个所述筒状结构...
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