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本发明涉及一种非接触式光罩或晶圆洁净装置，其是在一机体上设有一供承载光罩或晶圆的载台模块，且机体内设有一高压产生模块及一真空鼓风模块，又机体上设有至少一与载台模块相对位移的清洁头，该清洁头对应至少一连通真空鼓风模块的真空腔，该清洁头具有一连...
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