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本发明的目的在于提供一种提高生产效率且得到高品质的金属氧化膜的金属氧化膜的成膜方法。并且，本发明的成膜方法实施以下的处理。在溶液容器(15)内，使含有金属元素即铝的原料溶液(14)雾化而得到原料溶液雾(M1)。在独立于溶液容器(15)的溶液...该专利属于东芝三菱电机产业系统株式会社;高知县公立大学法人;国立大学法人京都大学所有，仅供学习研究参考，未经过东芝三菱电机产业系统株式会社;高知县公立大学法人;国立大学法人京都大学授权不得商用。