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本发明公开了一种前级真空系统以及抽真空控制方法。本发明中，仅采用一个前级真空泵通过主干路管道向各个分支管道及真空应用系统进行抽真空。与现有技术相比，仅需要一台前级真空泵即可完成对多路真空应用系统的前级抽真空操作，降低了成本，同时，因为通过管...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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