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本发明公开了一种碳化硅外延法制备石墨烯的装置，包括了进气装置、反应装置和尾气处理装置，所述进气装置包括了进气管、气体流量控制器组件及控制阀门组件；所述反应装置包括了设置在反应装置内壁上铜管、感应线圈、高频感应加热设备、多个镍铬铁合金托盘和多...
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