下载精密可控滑台装置及其组合的技术资料

文档序号:17224014

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本发明提供了一种精密可控滑台装置及其组合,其中,精密可控滑台装置包括壳体、滑台和若干驱动体,所述壳体设有用于滑台移动的第一空腔和用于放置若干驱动体的第二空腔,所述滑台包括滑台内端和滑台外端,其中,滑台内端设有永磁体,所述若干驱动体与永磁体之...
该专利属于上海交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海交通大学授权不得商用。

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