下载一种钽酸锂晶体基片加工方法的技术资料

文档序号:17213054

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本发明公开了一种钽酸锂晶体基片加工方法,包括切片、倒角、黑化、研磨、粗抛和精抛步骤,在所述粗抛和精抛步骤中采用了钻石抛光液,所述钻石抛光液由钻石微粉、乙二醇、甘油、乙醇氨以及去离子水构成,其PH值在9~11之间,其中钻石微粉含量为20~25...
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