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一种硅片抛光机用兼容性吸盘座，该兼容性吸盘座由均为圆盘状的吸盘座上盖、吸盘座中间垫板和吸盘座底板相配合组装实现对两种不同深度吸盘的兼容；吸盘座中间垫板和吸盘座底板的直径相同且均小于吸盘座上盖的直径，在吸盘座中间垫板的上表面和下表面分别设置有...
该专利属于麦斯克电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过麦斯克电子材料有限公司授权不得商用。

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