温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种工件保持装置及工件加工方法。工件保持装置(10)包括：第一保持部(11)，具有沿周向空出间隔地对圆环状的工件(W)的轴向端面进行吸附的三个吸附构件(22)；及第二保持部(12)，具有与所述工件(W)的内周面(Wd)或外周面(W...
该专利属于株式会社捷太格特所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社捷太格特授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。