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一种用于检测从基板表面辐射出的X射线的装置，所述装置包括至少一个X射线检测器、解析器光栅以及调制器光栅，具有朝向所述X射线检测器的至少一个开口的所述解析器光栅被布置在所述X射线检测器前面。在所述解析器光栅与所述基板之间，所述调制器光栅被提供...
该专利属于阿卡姆股份公司所有，仅供学习研究参考，未经过阿卡姆股份公司授权不得商用。

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