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本实用新型提供了一种湿法腐蚀装置，包括：壳体支架；旋转组件，设于壳体支架上，旋转组件包括：可旋转的安装盘，安装盘的放置面与铅垂线平行，放置面用于放置待进行湿法腐蚀的晶圆片。通过本实用新型的技术方案，增加了腐蚀液体的流动性，有效提高了湿法腐蚀...
该专利属于深圳市芯思杰联邦国际科技发展有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市芯思杰联邦国际科技发展有限公司授权不得商用。

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