下载一种微电子净化风机用的导风机构的技术资料

文档序号:17190956

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本发明公开了一种微电子净化风机用的导风机构,包括净化风机,净化风机的出风端和进风端分别连接有导风筒和控制筒,导风筒设有若干导风板,导风筒的侧壁上设有导风座,导风座上设有两个丝杠支架,两个的丝杠支架之间连接有往复丝杠,往复丝杠上设有丝杠螺母座...
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