下载一种具有真空长效润滑性能碳薄膜的制备方法的技术资料

文档序号:17189004

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本发明提供了一种具有真空长效润滑性能碳薄膜的制备方法,是采用具有特殊纳米形貌和高催化特性的金属Cu为靶材,以氩气为溅射气体,以甲烷为反应气源,利用碳氢气源在靶材表面形成石墨烯前躯体,进而溅射制备具有石墨烯纳米结构镶嵌的碳薄膜材料。由于石墨烯...
该专利属于中国科学院兰州化学物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院兰州化学物理研究所授权不得商用。

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