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面向物联网的自检测的多余能量收集的固支梁恒幅器制造技术
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下载面向物联网的自检测的多余能量收集的固支梁恒幅器的技术资料
文档序号:17164627
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本发明的面向物联网的自检测的多余能量收集的固支梁恒幅器是由共面波导、固支梁结构、电容极板、下拉极板所构成,整个结构基于Si衬底制作,一共有两个固支梁结构,靠近输入端的固支梁与极板构成电容,形成在线式电容功率传感器,实现输入信号的自检测,靠近...
该专利属于东南大学所有,仅供学习研究参考,未经过东南大学授权不得商用。
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