面向物联网的自检测的多余能量收集的固支梁恒幅器制造技术
A fixed beam constant amplitude device for self detection redundant energy collection for Internet of things
【技术实现步骤摘要】
面向物联网的自检测的多余能量收集的固支梁恒幅器
本专利技术提出了面向物联网的自检测的多余能量收集的固支梁恒幅器，属于微电子机械系统(MEMS)的
技术介绍
微波限幅器是一种功率调制器件，在小功率时，信号几乎无衰减地通过，但输入功率增大到一定值时，信号会产生很大的衰减，这个值称为限幅器的门限电平，此后输入功率继续增长，输出功率保持几乎恒定。微波限幅器是一种重要的微波控制器件,它被广泛应用在各类微波信号接收机等系统中。其最常见的作用是安装在接收机的高频放大器和混频器之前，来保护它们不被强信号烧毁。微波限幅器经常选用PIN二极管作为微波信号的控制元件，但近年来随着MEMS技术的快速发展，使基于MEMS技术实现上述功能成为可能。在此基础上，本专利进一步提出了基于MEMS固支梁的恒幅器的结构，将输入的微波信号处理成恒定幅度的信号输出，更为有效的保护了后级电路，同时，应用于LNA前端时，LNA的输入信号幅度恒定，为了达到LNA输出信号幅度的恒定，其增益就可恒定，即无需改变其直流偏置点，使得LNA中不再需要复杂的AGC模块,提高了LNA的线性度。
技术实现思路
技术问题：...
【技术保护点】
一种面向物联网的自检测的多余能量收集的固支梁恒幅器，其特征在于：该固支梁恒幅器是基于Si衬底(10)制作的，包括信号线(1)、第一地线(2‑1)、第二地线(2‑2)、第三地线(2‑3)、第四地线(2‑4)、第一固支梁(3)、第一电容极板(4‑1)、第二电容极板(4‑2)、第二固支梁(5)、第一锚区(6‑1)、第二锚区(6‑2)、第一下拉极板(7‑1)、第二下拉极板(7‑2)，其中：信号从信号线(1)的信号线输入端(1‑1)输入，信号线(1)的信号线输入端(1‑1)和第一地线(2‑1)、第二地线(2‑2)构成第一共面波导CPW1，第一固支梁(3)横跨在第一共面波导CPW1的第...
【技术特征摘要】
1.一种面向物联网的自检测的多余能量收集的固支梁恒幅器，其特征在于：该固支梁恒幅器是基于Si衬底(10)制作的，包括信号线(1)、第一地线(2-1)、第二地线(2-2)、第三地线(2-3)、第四地线(2-4)、第一固支梁(3)、第一电容极板(4-1)、第二电容极板(4-2)、第二固支梁(5)、第一锚区(6-1)、第二锚区(6-2)、第一下拉极板(7-1)、第二下拉极板(7-2)，其中：信号从信号线(1)的信号线输入端(1-1)输入，信号线(1)的信号线输入端(1-1)和第一地线(2-1)、第二地线(2-2)构成第一共面波导CPW1，第一固支梁(3)横跨在第一共面波导CPW1的第一地线(2-1)和第二地线(2-2)上，第一电容极板(4-1)位于信号线(1)和第一地线(2-1)之间第一固支梁(3)的正下方，第二电容极板(4-2)位于信号线(1)和第二地线(2-2)之间第一固支梁(3)的正下方，第一电容极板(4-1)和第二电容极板(4-2)关于信号线(1)对称，第二固支梁(5)悬于信号线(1)上方与第一锚区(6-1)和第二锚区(6-2)相连构成固支梁结构，第一下拉极板(7-1)位于信号线(1)和第一锚区(6-1)之间第二固支梁(5)的正下方，第二下拉极板(7-2)位于信号线(1)和第二锚区(6-2)之间第二固支梁(5)的正下方，第一下拉极板(7-1)和第二下拉极板(7-2)关于信号线(1)对称，第一锚区(6-1)与第一地线(2-1)、第二地线(2-3)构成第二共面波导CPW2，第二锚区(6-2)与第二地线(2-2)、第四地线(2-4)构成第三共面波导CPW3，第二共面波导CPW2和第三共面波导CPW3作为耦合支路输出端，第二锚区(6-2)连接AC/DC电路，AC/DC电路连接充电电池，信号线(1)的信号线输出端(1-2)与第三地线(2-3)构成第四共面波导CPW4作为输出端，信号从信号线(1)的信号线输出端(1-2)输出,该结构同时实现了信号自检测和信号恒幅输出的功能，收集了多余能量，当其应用在LNA中时，不仅可实现自供电，而且，LNA中不再需要AGC模块，提高了线性度。2.根据权利要求1所述面向物联网的自检测的多余能量收集的固支梁恒幅器，其特征在于：所述Si衬底(10)上表面设置有SiO2层(9)。3.根据权利要求2所述面向物联网的自检测的多余能量收集的固支梁恒幅器，其特征在于：所述信号线(1)、第一地线(2-1)、第二地线(2-2)、第三地线(2-3...
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