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本发明涉及一种在OLED上形成无机薄层的方法，尤其是以原子层沉积方法在有机发光二极管衬底上形成氧化铝薄膜的方法，所述方法包括以下步骤：1)在排出线路上安装湿气移除捕集器，所述排出线路用于排出真空腔室中的气体，所述真空腔室设有工艺气体供应单元...
该专利属于NCD有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过NCD有限公司授权不得商用。

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