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半导体装置制造方法及图纸
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文档序号:17163885
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半导体装置具有:漂移区;基区,其配置在漂移区上;发射区,其配置在基区上;内壁绝缘膜,其配置在槽的内壁,该槽从发射区的上表面延伸并贯通发射区和基区;栅电极,其与基区的侧面对置地配置在槽的侧面的内壁绝缘膜上;底面电极,其与栅电极绝缘分离地配置在...
该专利属于三垦电气株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三垦电气株式会社授权不得商用。
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