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本发明公开了静电夹具。根据本发明实施方式的静电夹具包括支承部、第一绝缘板、第一电极、第二电极和第二绝缘板。第一绝缘板位于支承部上并具有多个第一贯通孔。第一电极和第二电极布置在第一绝缘板上，并在第一方向上延伸且彼此平行地布置。第二绝缘板布置在...
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