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本发明公开了一种基于模态局部化原理的微型谐振式加速度计，属于微机电系统(MEMS)领域。加速度计包括两个完全相同的可动质量块和三个通过机械耦合梁连接在一起的谐振器。本发明使用了三自由度的弱耦合谐振器，进一步增大了谐振器的灵敏度，从而增大了加...
该专利属于西北工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过西北工业大学授权不得商用。

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