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本实用新型提供一种晶圆测试装置，包括底板，底板上设置有显微镜组件、探针固定臂以及晶圆放置台，显微镜组件朝向晶圆放置台，探针固定臂的夹持件朝向晶圆放置台；晶圆放置台包括均可转动的放置盘与转动盘，并且放置盘可前后左右来回移动，底板远离晶圆放置台...
该专利属于珠海市中芯集成电路有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过珠海市中芯集成电路有限公司授权不得商用。

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