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本实用新型提供一种用于晶圆切割的抗静电系统，该系统包括喷雾装置，喷雾装置连接抗静电装置，抗静电装置包括进气端、出水端以及过滤箱，过滤箱均与进气端、出水端连接，进气端连接进气管，进气管连接调压阀、气压表，过滤箱内靠近进气端设置有薄膜，过滤箱的...
该专利属于珠海市中芯集成电路有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过珠海市中芯集成电路有限公司授权不得商用。

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