下载振动微机械角速度传感器及其操作方法的技术资料

文档序号:17143496

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公开了一种传感器结构和一种用于操作角速度的振动传感器的方法,其中振动传感器包括旋转质量块(103)和两个线性移动质量块(101、102)。传感器结构包括两个T形杆(218、219),每个T形杆与两个线性移动质量块(101、102)耦接并且耦...
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