下载一种过渡金属氧化物电催化剂及其制备方法和应用的技术资料

文档序号:17143325

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本发明提供一种过渡金属氧化物电催化剂及其制备方法和应用,方法包括以下步骤:将基底进行前处理;将经处理后的基底放入PE‑ALD腔体中,设置PE‑ALD程序,通入载气,控制沉积在预定温度下进行,将加热的过渡金属源与加热的氧源依次导入PE‑ALD...
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