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本发明为一种溅射靶材组装体，其含有多个载置部，所述多个载置部是配置于底板上，且彼此空开间隔而配置，在各载置部上经由接合材料而配置有一个以上的溅射靶材构件，并且在相邻的所述载置部之间的间隙部中具有Ni基材料的涂层。...
该专利属于株式会社钢臂功科研所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社钢臂功科研授权不得商用。

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