下载一种半导体器件及其制造方法、电子装置的技术资料

文档序号:17142687

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本发明涉及一种半导体器件及其制造方法、电子装置。所述半导体器件包括:鳍片;栅极结构,位于所述鳍片的上方并环绕所述鳍片设置;虚拟鳍片,位于所述栅极结构两侧的源漏区域的外侧并且与所述鳍片间隔设置;源漏外延层,位于所述源漏区域上且沿所述栅极结构的...
该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。

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